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蚀刻加工-显影原理

曝光后的钢片放入显影机显影,用5‰-12‰的Na2CO3溶液,显影温度30℃-40℃,显影时活性基团羧基-COOH与Na2CO3反应,生成亲水性基团-COONa,从而把未曝光的部分溶解下来,而曝光部分的干膜不被溶解。其留在板面上保护下面的钢片不被蚀刻药水蚀刻。
掌握正确的显影时间对保证显影质量至关重要,如果显影时间不足,未聚合的光致抗蚀剂得不到充分的清洁显影,未感光的抗蚀剂残胶可能会留在金属表面,造成蚀刻图形失真。如果显影时间过度,已聚合的光致抗蚀膜由于与显影液接触时间过长,而发毛、失去光泽,在蚀刻过程中容量产生图形边缘抗蚀膜起层或脱落。正确的显影时间主要根据干膜提供的数据再经多次实验来确定。
    一般显影机由动力系统、显影液槽、喷液管、水洗槽、挤压 (水)辊、风刀和温度控制系统等部分组成。
①传动系统:是引导钢片运行的驱动装置。是由电机通过蜗轮蜗杆或链轮链条带动传送辊转动,并通过对压胶辊驱动使钢片通过显影机的各个工作环节。
②显影系统:钢片显影过程中,经过循环显影液均匀连续喷淋,将没有发生聚合反应的感光材料迅速溶解。为了保证显影液在恒定条件下工作,此部分还有加热器和冷却器,可自动调节温度。药液自动循环过滤,保证各处药液浓度和温度均匀一致。
③冲洗系统:主要是由喷淋管向钢片正反面喷淋清水,以除去附着在钢片表面的显影生成物和多余的显影液,并通过挤压辊挤去钢片表面的水分。具备二次水洗功能。
④干燥系统:由风刀和胶辊组成,通过吹风和加热使钢片迅速干燥,最后将钢片送出。

 
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