侧蚀:
发生在抗蚀层图形下面导线侧壁的蚀刻称为侧蚀。侧蚀的程度是以侧向蚀刻的宽度来表明。侧蚀与蚀刻液品种，构成和所运用的蚀刻工艺及设备有关。
导线厚度(不包括镀层厚度)与侧蚀量的比值称为蚀刻系数。蚀刻系数＝V／X用蚀刻系数的凹凸来衡量侧蚀量的巨细。蚀刻系数越高，侧蚀量越少。在印制板的蚀刻操作中，希望有较高的蚀刻系数，尤其是高密度的精密导线的印制板更是如此。
蚀刻速率:
蚀刻液在单位时刻内溶解金属的深度(常以μm／min表明)或溶解必定厚度的金属所需的时刻(min)。
溶铜量:
在必定的允许蚀刻速率下，蚀刻液溶解铜的量。常以每升蚀刻液中溶解多少克铜(g/l)来表明。对特定的蚀刻液，其溶铜才能是必定的。
镀层突沿:
金属抗蚀镀层增宽与侧蚀量的总和叫镀层突沿。假如没有镀层增宽，镀层突沿就等于侧蚀量。
镀层增宽:
在图形电镀时，由于电镀金属层的厚度超越电镀抗蚀层的厚度，而使导线宽度添加，称为镀层增宽。镀层增宽与电镀抗蚀层的厚度和电镀层的总厚度有直接关系。实践生产时，应尽量防止发生镀层增宽。
侧蚀:
发生在抗蚀层图形下面导线侧壁的蚀刻称为侧蚀。侧蚀的程度是以侧向蚀刻的宽度来表明。侧蚀与蚀刻液品种，构成和所运用的蚀刻工艺及设备有关。
